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    深圳技術大學感應耦合等離子體刻蝕機（金屬）意向公開

    更新時間:
    2023年08月04日
    		 招標單位: 立即查看
    截止時間: 立即查看 招標編號: 立即查看
    項目名稱: 立即查看 代理機構: 立即查看
    關鍵信息: 耦合 等離子 金屬  招標文件: 立即查看
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    ****感應耦合等離子體刻蝕機（金屬）意向公開
    ****感應耦合等離子體刻蝕機（金屬）意向公開
    采購單位:****
    項目名稱:感應耦合等離子體刻蝕機（金屬）
    預算金額（元）:3,880,000.000
    采購品目:其他輸入輸出設備
    采購需求概況:擬購置感應耦合等離子體刻蝕機（金屬）1套
    1.可進行8英寸晶圓并向下兼容，兼容方式采用壓環及托盤2種方式；小片及不規則片可通過載盤處理；
    2.晶圓置于下電極時采用壓環（clam）方式緊固；
    3.壓環4個：8寸晶圓刻蝕時與之匹配壓環1個，6寸晶圓刻蝕時與之匹配壓環1個，4寸晶圓刻蝕時與之匹配壓環1個，3寸晶圓刻蝕時與之匹配壓環1個；
    4.石墨托盤5個：8英寸轉6英寸2個，8英寸轉4英寸1個，8英寸轉3英寸1個，8英寸轉2英寸1個；
    5.石英托盤1個：8英寸轉6英寸1個；
    6.傳送樣品機械手臂可兼容8寸、6寸、4寸、3寸樣品；
    7.樣品臺溫度控制范圍為-30度至80度，溫度控制精度為設定值的 /-0.5度；帶背氦冷卻功能；
    8.刻蝕腔體極限真空度：5E-6Torr，腔體漏率≤1mTorr/min；
    9.ICP射頻源：2MHz，最大功率3000W，0~3000W可調；
    10.RF射頻源：13.56MHz, 最大功率600W，0~600W可調；
    11.Al,Ti,Cr刻蝕：均勻性<5%，重復性<5%；
    12.Al,Ti刻蝕側壁形貌>87°；
    13.設備包含傳輸腔和刻蝕腔，刻蝕腔設備配備分子泵和干泵，傳輸腔配干泵；
    14.氣路系統：配8路特氣Ar、O2、CHF3、CF4、BCl3、SF6、HBr、Cl2；
    15.配備光譜式終點監測裝置；
    16.工藝腔體具備加熱功能，加熱溫度≤60℃；
    聯系人:吳國才
    聯系電話:0755-****6324
    預計采購時間:2023-09
    備注:無

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