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****受**** 委托，根據(jù)《****政府采購(gòu)法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對(duì)****等離子體電學(xué)在線診斷設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目進(jìn)行其他招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來(lái)投標(biāo)。

項(xiàng)目名稱(chēng)：****等離子體電學(xué)在線診斷設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

項(xiàng)目編號(hào)：****

項(xiàng)目聯(lián)系方式：

項(xiàng)目聯(lián)系人：張哲華

項(xiàng)目聯(lián)系電話：0411-****6163

采購(gòu)單位聯(lián)系方式：

采購(gòu)單位：****

采購(gòu)單位地址：****園區(qū)凌工路2號(hào)

采購(gòu)單位聯(lián)系方式：李老師0411-****9969

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式：

代理機(jī)構(gòu)：****

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系人：張哲華0411-****6163

代理機(jī)構(gòu)地址： **省**市**區(qū)常青街29號(hào)休斯頓公寓A座1001室

一、采購(gòu)項(xiàng)目?jī)?nèi)容

擬采購(gòu)的等離子體電學(xué)在線診斷設(shè)備1套，用于在線同時(shí)診斷射頻功率、射頻電流、射頻電壓、射頻阻抗分析、等離子體密度、刻蝕率等，并實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯示和分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，**等離子體密度隨著射頻電流的動(dòng)態(tài)演化規(guī)律。

1.擬定的唯一供應(yīng)商名稱(chēng)及其地址：

供應(yīng)商名稱(chēng)：****

供應(yīng)商地址：**市**區(qū)**街道**路269號(hào)5號(hào)樓33760室

2.單一來(lái)源采購(gòu)原因及相關(guān)說(shuō)明：

****擬開(kāi)展芯片工藝中等離子體在線診斷方面的研究，研究等離子體刻蝕過(guò)程中等離子體電學(xué)參數(shù)的演化規(guī)律。基于該項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容，提出需采購(gòu)等離子體電學(xué)在線診斷設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)在線同時(shí)高精度測(cè)量射頻功率、射頻電流、射頻電壓、射頻阻抗分析、等離子體密度、刻蝕率等，最大測(cè)量功率 10kW，功率分辨率1W；電壓分辨率0.1V，最大電壓：2.5kV；電流分辨率3mA、最大電流>15A；覆蓋頻率：60MHz、13.56MHz、400kHz；波形顯示及阻抗分析；等離子體密度測(cè)量區(qū)間1E9cm-3 1E12cm-3；電子能量分布函數(shù)、離子密度；刻蝕率；大于60-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步工作，軟件二次開(kāi)發(fā)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)數(shù)據(jù)處理及分析。經(jīng)調(diào)研，針對(duì)以上技術(shù)參數(shù)，針對(duì)部分參數(shù)某些產(chǎn)品能實(shí)現(xiàn)，如電壓探頭只能滿足電壓的測(cè)量參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)、高頻電流探頭只能滿足電流的測(cè)量參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，但是同時(shí)在線實(shí)現(xiàn)以上全部參數(shù)的聯(lián)動(dòng)測(cè)量分析，只有**廣道高度集成化的等離子體電學(xué)在線診斷設(shè)備能滿足本項(xiàng)目的要求。

二、開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2022年11月29日 09:30

三、其它補(bǔ)充事宜

無(wú)。

四、預(yù)算金額：

預(yù)算金額：185.****000 萬(wàn)元（人民幣）