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相關單位：
***********公司企業信息
****2025年4至5月政府采購意向-三維光學輪廓儀 詳細情況
| 三維光學輪廓儀 | |
| 項目所在采購意向： | ****2025年4至5月政府采購意向 |
| 采購單位： | **** |
| 采購項目名稱： | 三維光學輪廓儀 |
| 預算金額： | 200.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A****0000-設備_A****0000-電工、電子生產設備_A****0100-電工生產設備 |
| 采購需求概況 ： | 三維光學輪廓儀具備白光干涉、相位差干涉、共聚焦三種測量模式；物鏡數量4個及以上，水平分辨率優于0.2μm，垂直分辨率優于0.2nm。CCD相機像素大于等于500萬，幀率大于等于120；配備電動位移臺，可實現晶圓位姿調整；配備數據批量處理軟件，配備數據分析軟件。以實際公告為準。 |
| 預計采購時間： | 2025-05 |
| 備注： | |
本次公開的****政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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2025-03-28
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