一、項(xiàng)目信息

采購人：****

項(xiàng)目名稱：三軸激光干涉測(cè)距儀采購

預(yù)算金額：25萬元

擬采購項(xiàng)目概況：項(xiàng)目擬采購的干涉儀用于米級(jí)位移的納米精度測(cè)量，主要用于面向光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)平面磁浮定位平臺(tái)、光學(xué)測(cè)量掃描平臺(tái)的平面位置測(cè)量。由于平臺(tái)采用并聯(lián)方式，傳統(tǒng)長(zhǎng)程光柵尺等無法進(jìn)行平面位置的測(cè)量，必須采用激光干涉方式獲得測(cè)量數(shù)據(jù)并進(jìn)行反饋。該平臺(tái)所需達(dá)到的技術(shù)指標(biāo)如下：

1）量程30m；

2）測(cè)量分辨率1pm；

3）重復(fù)度2nm；

4）最大測(cè)量速度2m/s；

5）測(cè)量帶寬10MHz。

二、采用單一來源采購方式的原因及說明

前期已采購一臺(tái)德國Attocube公司IDS3010型號(hào)的激光干涉儀，長(zhǎng)期處于滿負(fù)荷運(yùn)行狀態(tài)，導(dǎo)致項(xiàng)目推進(jìn)受阻，亟需增購一臺(tái)。該設(shè)備具有小型化特征，同時(shí)在30m量程內(nèi)科獲得1pm的測(cè)量分辨率和2nm的重復(fù)精度，指標(biāo)極為先進(jìn)，能夠滿足項(xiàng)目需要，本次采購是在原來基礎(chǔ)上的同型號(hào)續(xù)購，不僅有利于設(shè)備維護(hù)，同時(shí)也能更好地開展科研和實(shí)驗(yàn)工作。因此，本項(xiàng)目建議仍然選擇****代理的德國Attocube公司IDS3010設(shè)備。

三、擬定供應(yīng)商信息

制造商：Attocube

代理商（如果有）：****

公司地址：中國（**）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張衡路500弄1號(hào)7層706室

四、公示期限

2024年11月25日至2024年11月28日，共計(jì)3個(gè)工作日

五、其他補(bǔ)充事宜

無

六、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián) 系 人：徐**

聯(lián)系地址：**市**區(qū)孝陵衛(wèi)街200號(hào)****

聯(lián)系電話：185****9247

2.采購科

聯(lián) 系 人：劉老師

聯(lián)系地址：****致遠(yuǎn)樓119室

聯(lián)系電話：025-****5015

七、附件

單一來源采購專家論證意見表（格式見附件）

單一來源采購專家論證意見表-1.jpg

單一來源采購專家論證意見表-2.jpg