SIN小噴頭 件 2 O-ring 件 10 Backup Ring,3/4 個 6 導電膜 個 3 按鍵皮 個 3 壓空管 卷 1 陶瓷手臂PULLOUT ARM 件 2 直線模組LX3010CG-B1-F-350 個 1 基座導熱墊片(6寸) 個 10 monitor base 個 1 電路板 個 1 腔蓋屏蔽蓋 個 3 氣動閥(為BN系列常閉閥芯,P5000/PVD/LAM設備通用) 個 2 運動檔塊 個 2 隔熱墊 個 5 GAP驅動器 個 1 CVG快插 套 1 Lamp,100OW,225VAC 件 5 絕緣柱 件 100 絕緣柱 件 100 絕緣柱 件 100 熱偶規 件 20 LED模塊 塊 1 CPU板 個 1 O型圈(205*15) 件 60 電路板 個 1 CPU板 個 1 燈旋轉馬達 件 1 O-RING 件 50 螺絲 個 20 定制加熱夾克 件 1 真空轉接頭 個 1 Isolator Ring 個 1 汞燈 件 4 氟膠密封圈 個 10 波紋管 個 1 ORING ID 1.609CSD 個 3 電路板 個 1 cassette 切換氣缸 個 1 直線導軌固定件-H 個 1 圓頭聯軸器 個 1 同步帶 個 1 擋板 件 10 MFC cable 個 3 扇形沉積屏蔽板 個 15 波紋管 個 1 方圈 件 10 陶瓷手臂LOAD ARM 個 1 PVC快排閥 個 2 流量計 個 1 紅外線燈管--****99812 件 30 側板 件 5 雙氣孔底板 個 3 高頻磁控管 件 1 SWITCH VACUUM 件 1 6寸前置承片盤彈簧 個 150 密封扣 件 4 流量計 個 1
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